無錫該半導體電子廠專業從事半導體芯片的研發、產銷和服務，主要生產高反壓雙極晶體管、外延雙極晶體管、外延晶體管、穩壓二極管等電子半導體產品。在生產過程的各個環節中產生的廢氣成分也是復雜多樣的，主要有酮類、苯類、醋酸丁酯、醇類、苯乙烯、乙酸乙酯、甲基異丁基甲酮、二氯甲烷、環已酮、甲氫呋喃、三氯乙烯和氯仿等，因此，需要用到的電子廠廢氣處理工藝也相對比較復雜。

半導體電子廠廢氣處理工程現場

  項目名稱：無錫某半導體電子廠廢氣處理項目

  廢氣種類：酮類、苯類、醋酸丁酯、醇類、苯乙烯、乙酸乙酯、二氯甲烷、三氯乙烯和氯仿等

  廢氣風量：40000m3/h

  處理工藝：噴淋塔+UV光氧催化+干式過濾+活性炭吸附濃縮+催化燃燒

  工藝簡述：噴淋塔用于將廢氣中的水溶性好的有機廢氣進行預處理凈化；

                  再通過UV光氧催化設備用于將一些廢氣分子破碎并進一步氧化還原；

                  干式過濾可以捕捉廢氣中的粉塵，確保廢氣潔凈；

                  活性炭吸附濃縮設備則可以將有機廢氣成分進行吸附凈化；

                  催化燃燒最終將活性炭吸附設備排出的有機廢氣脫附催化燃燒干凈，使活性炭再生重復使用。

  處理結果：達標排放

  項目地址：江蘇-無錫-江陰

  工程工期：80天